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XYXYZ72壓電宏微復合平臺,采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結合的方式,滿(mǎn)足XY軸mm級大行程,并且實(shí)現Z軸nm級的高精度。《查看更多》
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